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技術文章

連續膜階段

    在溝渠和孔洞消除之后,再入射到基片表面上的氣相原子便直接吸附在薄膜上、通過合并作用而形成不同結構的薄膜。有些薄膜在島的合并階段,小島的取向就發生顯著變化。對于外延薄膜的形成,其小島的取向相當重要。在形成多晶薄膜時,除了在外延膜中小島合并時必須有相互一定的取向之外,在合并時還出現一些再結晶現象。以致薄膜中的晶粒大于初始核之間的距離。即使基片處在室溫條件下,也有相當數量的再結晶發生。每個晶粒大約包含100個或更多的初始核區域。由此可以看出,薄膜中晶粒尺寸的大小取決于核或島合并時的再結晶過程,而不取決于初始核的密度。
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