亚洲自拍中文-亚洲自拍小视频-亚洲自拍色-亚洲资源最新版在线观看-亚洲资源站-亚洲资源在线观看

歡迎訪問揚州欣達電子有限公司網站! 關于我們 聯系我們

專注于薄膜開關,薄膜面板等研發與生產

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

您的位置:首頁 > 新聞資訊 > 技術文章
PRODUCT CENTER
產品中心
行業資訊
企業動態
技術文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術文章

薄膜內應力起因

    一般認為薄膜內應力是由熱效應、相變、界面應力、雜質效應等因素綜合作用的結果。
    一、熱效應
    熱效應是內應力的主要來源。因此在選擇基片時應盡量選擇其熱膨脹系數與薄膜相接近的材料,或者選擇可使薄膜處于壓應力狀態的基片材料。基片溫度對薄膜的內應力影響很大,它直接影響吸附原子在基片表面的遷移能力,從而影響薄膜的結構、晶粒的大小、缺陷的數最和分布,而這些都與內應力大小有關。
    二、相變
    薄膜的形成過程實際上也是一個相變過程,即由氣相變為液相再變為固相,這種相變帶來體積上的變化,從而產生內應力。在薄膜形成過程中,首先是在基片上凝聚成短程有序的類液體固相,這時薄膜并沒有本征應力;當類液體固相向穩定的晶相轉變以后,由于兩相密度不同,就產生了本征應力。例如Ga由液相變為固相時體積將發生膨脹,因而薄膜內將產生內應力;Sb在常溫下形成的薄膜一般是非晶態,當膜厚超過某一臨界值時將發生晶化,晶化時體積收縮,薄膜內就產生張應力。
    三、界面應力
    當薄膜材料的晶格結構與基片材料的晶格結構不同時,薄膜最初幾層的結構將受到基片的影響,形成接近或類似基片的晶格尺寸,然后逐漸過渡到薄膜材料本身的晶格尺寸。在過渡層中的結構畸變,將使薄膜產生內應力。這種由于界面上晶格的失配而產生的內應力稱為界面應力。為了減少界面應力,基片表面晶格結構應盡量與薄膜相匹配。
    四、雜質效應
    在淀積薄膜時,環境氣氛對內應力影響很大。真空室內的殘余氣體或其它雜質進人薄膜結構中將產生壓應力。制備好的薄膜置于大氣中,會受到環境氣氛的影響,例如銅膜的表面遇到空氣會在表面生成一層很薄的氧化層,它也會使薄膜增加壓應力。進人薄膜中的殘余氣體還可能再跑出來,在薄膜中留下空位或微孔,從而出現張應力。由于晶界擴散使雜質進人薄膜中也會產生壓應力。
    除了以上幾種原因以外,在薄膜生長過程中由于小島的合并、晶粒的合并、缺陷、微孔的擴散等,會引起表面張力的變化,也會引起薄膜內應力的變化。
主站蜘蛛池模板: 国产精品久久成人网站| 久久av高潮av无码av喷吹| 色.com| 日本成熟视频免费视频| 伊人久久精品无码二区麻豆| 98色花堂永久地址国产精品| 天堂在线www中文| 日韩gay小鲜肉啪啪18禁| 免费看污视频软件| 夜夜躁狠狠躁日日躁视频| 1024手机在线看片| 97久久草草超级碰碰碰| 性少妇无码播放| 国产a级三级三级三级| 好硬好湿好爽再深一点动态图视频| 亚洲中文字幕无码爆乳av| 厨房掀起裙子从后面进去视频| 人妻少妇偷人精品无码| 国产成人午夜无码电影在线观看 | 日本免费在线| 玩两个丰满老熟女久久网| 色橹橹| 国产精品久久久久国产a级| 久久精品无码午夜福利理论片| 国精产品一区二区三区| 成人a级视频在线播放| 无码人妻一区二区三区av| 三级网在线| 最近中文字幕视频高清| h无码精品3d动漫在线观看| 国产午夜精品无码| 特级毛片a级毛片免费播放| 国产免费福利网站| 中文字幕 制服 亚洲 另类| 欧美色碰碰碰免费观看长视频| 同桌上课脱裙子让我帮他自慰| 亚洲偷图色综合色就色| 成av人片在线观看www| 亚洲日韩欧美一区二区三区在线| 色妞视频资源在线观看| 久久国产亚洲精品无码|